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聯系人;余玲
小型 高響應。
在確認吸附電子部件中發揮威力。
應用硅微觀加工的白金傳感器觸頭
新方案的整流機構，實現了以前所沒有的小型·高速響應。適合確認電子部件的吸附，各種N2凈化氣體流量管理等熱式流量傳感器·快速流動
FSM系
流量傳感器的選定方法
使用流量傳感器進行吸附噴嘴的吸附、確認離脫、檢查泄漏等時，請作為選定流量范圍的大致標準。
根據噴嘴（氣孔）的有效截面積及噴嘴內外的壓力差，可計算流
Ｑ ：流量 /min
P1 ：1次側壓力 MPa
P2 ：2次側壓力 MPa
S ：噴嘴（氣孔）的有效截面積 mm2
P2：真空
P1：大氣壓
下表表示噴嘴的直徑為φ0.1～2，P2可變時的流量計算值。
P1：加壓
P2：大氣壓
P1：大氣壓
注意）
?配管等有泄漏時，實際流量比計算值大。選定流量時，請考慮配管的泄漏量。
?配管途中，有比吸附噴嘴直徑細的部分時，流量被節流，流量比計算值。
?有可能不能進行吸附確認。
?有效截面積為大致標準。噴嘴細長時，有效截面積比比噴嘴的開口面積小。
?應答速度由從流量傳感器到噴嘴（氣孔）的配管內容積決定。進行高速檢測時，將流量傳感器配置在吸附噴嘴附近等，
盡量使配管的內容積縮小。
?配管等有泄漏時，實際流量比計算值大。選定流量時，請考慮配管的泄漏量。
?配管途中，有比吸附噴嘴直徑細的部分時，流量被節流，流量比計算值。
?有可能不能進行吸附確認。
?有效截面積為大致標準。噴嘴細長時，有效截面積比比噴嘴的開口面積小。
?應答速度由從流量傳感器到噴嘴（氣孔）的配管內容積決定。進行高速檢測時，將流量傳感器配置在吸附噴嘴附近等，
盡量使配管的內容積縮小。
流量計算值（ /min）
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