YS神視晶圓定位傳感器性能參數

特點

耐沖擊 加速度490m/s2(約50G)　X,Y和Z方向各3次

投光元件 紅色LED(投光波峰波長：650nm)

受光元件 光電二極管

材質 本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁

電纜 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器

消耗電流70mA以下

檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電傳感器同等的功耗。

高分辨率30μm

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實現檢測。

無需光軸調整

投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調整。

并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域，可對應各種不同尺寸的晶圓。

配備系數和偏移量調整功能

模擬輸出(1～5V)除了系數調整功能之外，還具備方便的偏移調整功能，可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。

適用控制器 HD-T1C

檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規定)

檢測距離 30mm(固定)(注2)

保護構造 IP40(IEC)

使用環境溫度 0～+40℃(注意不可結露)，存儲時：-20～+55℃

無需任何安全措施

使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。

無需使用激光時必備的保護罩，在美國使用時不需要符合FDA標準。

施工簡便

使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至較限度，維護輕松。

施工簡便

使用環境濕度 35～85%RH、存儲時：35～85%RH

使用環境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下

耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐振動 頻率10～150Hz　雙振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小時

產品圖片：

YS神視晶圓定位傳感器性能參數