松下晶圓校準傳感器技術樣本，Panasonic規格型號

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實現檢測。

投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調整。

并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域，可對應各種不同尺寸的晶圓。

模擬輸出(1～5V)除了系數調整功能之外，還具備方便的偏移調整功能，可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。

(注1)：出廠時固定于安裝基座狀態下的值。

檢測頭與控制器必須配套使用。

(1)按箭頭方向推入擋塊(鎖定)后，將安裝部前部嵌入35mm寬的DIN導軌中。

(2)將安裝部后部壓住35mm寬的DIN導軌并嵌入其中。

※拆卸時，將一字螺絲刀插入擋塊的凹槽中，向后拉出。

<使用螺絲時>

使用螺絲進行安裝時，請使用M4盤頭螺絲，并將緊固扭矩設為1.2N·m以下。

(注1)： 無的測量條件為使用環境溫度+20℃。

(注2)： 出廠時固定于安裝基座狀態下的值。

(注1)： 無的測量條件為使用環境溫度+20℃。

(注2)： 分辨率為模擬輸出的峰值～峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。

(注3)： 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。

(注1):模擬輸出未裝備短路保護電路。

請勿直接連接電源或容性負載。

符號???D:電源逆接保護用二極管

ZD:電涌電壓吸收用齊納二極管

請勿將本產品作為BZ人身安全的檢測裝置使用。

欲進行以BZ人身安全為目的的檢測，請使用符合OSHA、ANSI以及IEC等各國有關人身安全BZ的法律和標準的產品。

安裝檢測頭時，如下圖所示，使用2個M4內六角螺栓(請另行準備)，以0.5N·m以下的扭矩緊固。

請勿拆下固定投、受光器和安裝基座的固定螺絲。否則，輸出值會變化。

請勿使用投、受光器側面的安裝孔以螺絲安裝。

<使用DIN導軌時>

使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。

無需使用激光時必備的保護罩，在美國使用時不需要符合FDA標準。

使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。

配線工時降至較限度，維護輕松。

檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。

實現光電傳感器同等的功耗。

松下晶圓校準傳感器技術樣本，Panasonic規格型號